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आरएफ और डीसी डुएल चैम्बर मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग सिस्टम
आरएफ और डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग सिस्टम प्लाज्मा बमबारी के माध्यम से लक्ष्य से तटस्थ परमाणुओं को बाहर निकालने के द्वारा एक सब्सट्रेट पर स्रोत (लक्ष्य) पदार्थ को निक्षेपण करता है। प्लाजा कम दबाव पर डीसी या आरएफ क्षेत्र पर लागू करके एक निष्क्रिय गैस के आयनीकरण के माध्यम से बनाया जाता है और चुंबक को प्रभावी निक्षेपण के लिए प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित करने के लिए प्रयोग किया जाता है।
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उपकरण के विवरण |
मुख्य विशेषताएं
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अनुप्रयोग क्षेत्र
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माडल :आरएमएस 2000ली सीरीज़
विनिर्माता :रॉकी माउंटेन वैक्यूम टेक, यूएसए
लक्ष्य का आकार: 3"
आर एफ पावर : 600वाट
डीसी पावर:1000वाट
निर्वात : 10-9 mbar
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