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मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग सुविधा
स्पटरिंग विभिन्न बहु धातु, ऑक्साइड, नाइट्राइड और कार्बाइड कोटिंग्स बनाने के लिए एक बहुमुखी भौतिक वाष्प निक्षेपण प्रक्रिया है। एसईडी में,विभिन्न प्रकार के स्पटरिंग सिस्टेम जैसे प्लनार मैग्नेट्रॉन, विभिन्न कैथोड आयामों के संतुलित और असंतुलित मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग का स्वदेश में ही विकसित किया गया है। स्पटरिंग डीसी, स्पंदित डीसी, आरएफ और एचआईपीआईएमएस पावर सप्लाई का उपयोग करते हुए किया जाता है।
6 "x6" x6 " नमूना आकार में बड़े पैमाने पर पीवीडी कोटिंग्स निक्षेपण हेतु एनएएल द्वारा एक अर्ध-औद्योगिक स्केल स्पटरिंग सिस्टम का अभिकल्प किया गया है।
