पीज़ोसिरेमिक पतली फिल्म और लेपन

पीज़ोसिरेमिक पतली फिल्म और लेपन

इनसिटु संवेदक, एक्‍चुएटर और मेम्‍स उपकरणों की संविरचना हेतु वांतरिक्ष ग्रेड एल्युमिनियम मेटल, सम्मिश्रण संरचना और सिलिकॉन वेफर पर कन्फार्मल पीज़ोसेरामिक लेपन सीएसआईआर-राष्‍ट्रीय वांतरिक्ष प्रयोगशालाएं के पदार्थ विज्ञान प्रभाग (एमएसडी) में सफलतापूर्वक विकसित की गई है।
तकनीक का संक्षिप्त विवरण

विभिन्न सब्‍स्‍ट्रेटों (धातु, सम्मिश्र और बहुलक) पर मोटाई सीमा 200 एनएम से 500 माइक्रोन को कवर करने वाली पीजोसिरामिक पतली फिल्म और लेपन के लिए अनुप्रयुक्‍त विशिष्ट प्रक्रियाएं और सामग्रियां विकसित की गई हैं। विशेष रूप से 200 एनएम से 600 एनएम, 1 माइक्रोन से 40 माइक्रोन और 40 माइक्रोन जैसी मोटाई प्राप्त करने के लिए विकसित विभिन्न लेपन तकनीकें हैं। 40 माइक्रोन से 500 माइक्रोन के पीज़ोसेरामिक लेपन को हस्‍थ संचलित उपकरणों का उपयोग करके वितरित या निरंतर तरीके से प्रवाहयुक्त स्‍प्रे द्वारा विकसित किया गया है। विकसित पीज़ोसिरामिक लेपन में बल्क पीज़ो सिरामिक और फ्लेक्सिबल पीज़ो पॉलिमर की सुविधाएं हैं। इस लेपन पर कड़े परीक्षण किए जा रहे हैं और क्षेत्र के अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है। परीक्षण पदार्थ का प्रत्यक्ष संबंध ट्रांसडक्शन हानियों को कम करके इसके निष्‍पादन को बढ़ाता है। इस लेपन का स्थानीय और वैश्विक स्ट्रक्चरल हेल्थ मॉनिटरिंग (एसएचएम) के लिए ध्‍वनिक पराध्‍वनिक तरंगों के ट्रांसीवर के रूप में सफलतापूर्वक परीक्षण किया गया है।

200 एमएम मोटाई रेंज में पीजोसिरामिक पतली फिल्मों को विशेष रूप से एसआई/ एसआईओ2/टीआई/पीटी वेफर पर आरएफ स्पटरिंग और स्पिन लेपन विधियों का उपयोग कर मेम्‍स और माइक्रोसेंसर अनुप्रयोग के लिए विकसित किया गया है। निम्न आयामी रेंज 200 एनएम से 1 माइक्रोन में, पीजोइलेक्ट्रिक प्रॉपर्टी में पर्याप्त वृद्धि, स्वदेशी प्रोसेस अनुकूलन द्वारा दिशात्मक विकास और डोमेन इंजीनियरिंग से प्राप्त की जाती है।