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ईडीएस / ईबीएसडी के साथ समाकलित क्षेत्र उत्सर्जन स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी
FESEM स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप एक उन्नत संस्करण है जो पारंपरिक SEM की तुलना में 1000 गुना उज्ज्वल छवि उत्पन्न करती है। Schottky फील्ड उत्सर्जक का अति उच्च वैक्यूम चैंबर में एक स्रोत के रूप में उपयोग किया जाता है। ईडीएस प्रणाली मात्रात्मक तात्विक जानकारी देती है और इलेक्ट्रॉन बैकस्कॉटर्ड डिफ्रैक्शन (ईबीएसडी) नमूना के क्रिस्टल संरचना और अभिविन्यास प्रदान करती है।
निर्माण (मेक) : सुप्रा 40 वीपी (कार्ल ज़ीस), जर्मनी
विशेष विवरण:
- विभेदन : 20 केवीए पर 1.0 एनएम
- गैर-संचालन नमूनों के लिए परिवर्तनीय दबाव मोड
- वैक्यूम: दो आयनों के साथ यूएचवी संगत प्रणाली
- पंप और एक टर्बो-आणविक पंप (10-5 से 10-11 एमबीआर)।
- तात्विकता डाउन बी पता लगाने के लिए ईडीएस
- विभिन्न विशिष्टताओं के नैनोक्रिस्टल के मानचित्रण के लिए ईबीएसडी
